久久久久久久亚洲精品|亚洲欧美国产精品一区|四十路の五十路熟女豊満|日日摸夜添夜夜夜添高潮|自拍偷拍亚洲精品无码视频|91久久精品日日躁夜夜躁|蜜芽亚洲AV无码精品色无码|亚洲日韩精品一区二区三区无码

1、打開冷卻水開關(guān)、空壓機(jī)開關(guān)（空壓機(jī)紅色按鈕向上拔為打開，向下按為關(guān)閉）和鍍膜機(jī)總電源開關(guān)。

2、將玻璃基板至于樣品托中，導(dǎo)電一面向下，刻蝕帶一側(cè)靠近樣品托藍(lán)色線條一側(cè)。  

3、預(yù)處理室放氣，待放好氣后擰緊放氣閥，打開預(yù)處理室倉門，將樣品托放在推拉桿上，關(guān)閉倉門。 

4、打開機(jī)械A(chǔ)、機(jī)械B泵及四個(gè)真空計(jì)。  

5、基片預(yù)處理：打開角閥，當(dāng)預(yù)處理室真空度達(dá)到2.0E1 ～5.0E1 (2.0×10～5.0×10)Pa時(shí)，關(guān)閉角閥、打開真空蒸鍍室角閥。打開直流濺射電源、再按下啟動(dòng)按鈕，調(diào)節(jié)電流0.020-0.025*，轟擊10分鐘，將電流調(diào)節(jié)至0A，按下停止按鈕，關(guān)閉電源。  

6、打開A泵，角閥，待度達(dá)4.0E0以下時(shí)，即當(dāng)兩邊真空氣壓基本相當(dāng)?shù)牡臅r(shí)候（約十分鐘），關(guān)閉角閥，A閥，打開蒸鍍室與預(yù)處理室之間的閘板閥（順時(shí)針方向開，逆時(shí)針方向關(guān)），檢查旋轉(zhuǎn)臺(tái)下的擋板，一定要將擋板放在恰當(dāng)位置。樣品傳送至蒸鍍室，用機(jī)械手抓取樣品托，并保持在機(jī)械手上；然后將推拉桿拉回至預(yù)處理中，關(guān)閉閘板閥；降低蒸鍍臺(tái)與機(jī)械手平齊，將樣品托輕輕推入蒸鍍臺(tái)下方的樣品托導(dǎo)引槽（上方導(dǎo)引槽）。 

 7、當(dāng)蒸鍍室真空度達(dá)到1.2E1（1.2×10） Pa以下時(shí)，關(guān)閉角閥、機(jī)械A(chǔ)泵。打開閘板閥，將蒸鍍室抽高真空至7.0E-4Pa（約2個(gè)小時(shí)）。